氮化硅生產(chǎn)創(chuàng)新設(shè)計新工藝?yán)夹g(shù)手冊_百度文庫
3氮化硅陶瓷燒結(jié)新工藝含有氧化釔、_氧化鑭和氧化鋁的氮化硅及制造方法5高韌性氮化硅瓷刀具材料及其制造方法6
廠家報價氮化硅的生產(chǎn)工藝及設(shè)備上，可獲得更高的刀具耐用度與加工精度刀具的費(fèi)用增加不多，而經(jīng)濟(jì)效益卻明顯提高切削高硬度鋼切削高錳鋼高錳鋼的原始硬度雖然不一定很高，但加工硬化非常嚴(yán)重，加工后硬度可提高一倍左右，切削加工性很差，用一般硬質(zhì)合金刀具很難加工，特別當(dāng)加工精度或表面粗糙度要求高時，硬質(zhì)合金刀具更顯得無能為力例如某廠加工主動車輪，材料為，調(diào)質(zhì)，硬度為，內(nèi)孔公差僅為，內(nèi)孔錐度要求，粗糙度要求為選用多種硬質(zhì)合金刀具加工，均達(dá)不到上述質(zhì)量要求；后改用氮化硅陶瓷刀具，順利解決了問題另一種高錳鋼的原始硬度為.....
3氮化硅陶瓷燒結(jié)新工藝含有氧化釔、_氧化鑭和氧化鋁的氮化硅及制造方法5高韌性氮化硅瓷刀具材料及其制造方法6
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第三章剛玉氮化硅生產(chǎn)深度調(diào)查節(jié)產(chǎn)品生產(chǎn)一、市場生產(chǎn)調(diào)查年份2003年2004年2009年2010年2011年總產(chǎn)量品種二、細(xì)分產(chǎn)品生產(chǎn)調(diào)查產(chǎn)品種類
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125氮化硅生產(chǎn)工藝粒污染的傳統(tǒng)解決方案2013研究本課題的意義、目的和內(nèi)容20222爐管設(shè)備粒污染之間的關(guān)系223421立式氮化硅的結(jié)
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及設(shè)備特征是硅烷和氨氣的氣相化學(xué)反應(yīng)是在立式雙溫區(qū)流態(tài)反應(yīng)器3中進(jìn)行該反應(yīng)器流態(tài)床底部設(shè)有不銹鋼制造的分配板31載體填料32是粒度為01~05mm的硅晶體床層外
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49建立有源區(qū)氮化硅用數(shù)據(jù)庫的工藝50一種鑄錠用石英坩堝氮化硅涂層免燒工藝1一種預(yù)防在雙應(yīng)力氮化硅工藝阻失效的方法52一種
廠家報價上，可獲得更高的刀具耐用度與加工精度刀具的費(fèi)用增加不多，而經(jīng)濟(jì)效益卻明顯提高切削高硬度鋼切削高錳鋼高錳鋼的原始硬度雖然不一定很高，但加工硬化非常嚴(yán)重，加工后硬度可提高一倍左右，切削加工性很差，用一般硬質(zhì)合金刀具很難加工，特別當(dāng)加工精度或表面粗糙度要求高時，硬質(zhì)合金刀具更顯得無能為力例如某廠加工主動車輪，材料為，調(diào)質(zhì)，硬度為，內(nèi)孔公差僅為，內(nèi)孔錐度要求，粗糙度要求為選用多種硬質(zhì)合金刀具加工，均達(dá)不到上述質(zhì)量要求；后改用氮化硅陶瓷刀具，順利解決了問題另一種高錳鋼的原始硬度為，初始切削后的硬度即達(dá)，用普通硬質(zhì)合金刀具很難加工，選用高性能硬質(zhì)合金刀具雖能加工，但效率較低，切削速度只有用氮化硅陶瓷刀片在切削深度和進(jìn)給量不變的情況下，切削速度可達(dá)到，加工效率提高倍多，而且切削平穩(wěn)輕快，工件的表面粗糙。
耐材之窗耐火原料價格指數(shù)指數(shù)1283點(diǎn)環(huán)比：+006%同比：330%氮化硅制品按工藝可以分為反應(yīng)燒結(jié)制品、熱壓制品、常壓燒結(jié)制品、等靜壓燒結(jié)制品和反應(yīng)重?zé)破返取Ｆ渲?，反?yīng)燒結(jié)是一種常用的生產(chǎn)氮化硅耐火制品的方法。反應(yīng)燒結(jié)法生產(chǎn)氮化硅制品是將磨細(xì)的硅粉（粒度一般小于80μm），用機(jī)壓或等靜壓成型，坯體干燥后，在氮?dú)庵屑訜?350～1400℃，在燒成過程中同時氮化而制得。采用這種生產(chǎn)方法，原料條件和燒成工藝及氣氛條件對制品的性能有很大的影響。硅粉中含有許多雜質(zhì)，如Fe，Ca，Aì，Ti等。Fe被認(rèn)為是反應(yīng)過程中的催化劑。它能促進(jìn)硅的擴(kuò)散，但同時，也將造成氣孔等缺陷。Fe作為添加劑的主要作用：在反應(yīng)過程中可作催化劑，促使制品表面生成2氧化膜。
氮化硅Si3N4是一種優(yōu)良的高溫結(jié)構(gòu)陶瓷，在工業(yè)生產(chǎn)和科技領(lǐng)域有重要用途。Ⅰ工業(yè)上有多種方法來制備氮化硅，常見的方法有：方法一直接氮化法：在1300l400℃時，高純粉狀硅與純氮?dú)饣?，其反?yīng)方程式為__________：方法二化學(xué)氣相沉積法：在高溫條件下利用四氯化硅氣體、純氯氣、氫氣反應(yīng)生成氯化硅和，與方法一相比，用此法制得的氮化硅純度較高，其原因是____________________。方法三SiNH24熱分解法：先用四氯化硅與氨氣反應(yīng)生成SiNH24和一種氣體________（填分子式）；然后使SiNH24受熱分解，分解后的另一種產(chǎn)物的分子式為____________。Ⅱ．1氨化硅抗腐蝕能力很強(qiáng)，但易被氫氟酸腐蝕，氨化硅與氫氟酸反應(yīng)生成四氟化硅和。
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出自：任瑞龍1、2、李海華1、黃柏喻2、陳勇杉2、季峰強(qiáng)2，1上海交通大學(xué)微電子學(xué)院；2中芯國際在亞微米的生產(chǎn)制造技術(shù)中，氮化硅工藝的已經(jīng)成為產(chǎn)品良率的主要影響因素。本文主要針對立式氮化硅爐管的氮化硅制造工藝中所遇到問題進(jìn)行研究。通過大量的對比性實(shí)驗(yàn)進(jìn)行排查與分析，并利用各種先進(jìn)的實(shí)驗(yàn)的設(shè)備和器材找到產(chǎn)生的原因，找到解決問題的方案。結(jié)果證明不僅延長了機(jī)臺的維護(hù)周期，而且改善了機(jī)臺的狀況，終獲得良率的提升，優(yōu)化了制造工藝。?氮化硅工藝的問題分析氮化硅制備工藝通常在中等真空程度下的反應(yīng)腔體內(nèi)通入反應(yīng)氣體二氯二氫硅（2Cl2）和氨氣（NH3）來生成氮化硅，反。